
中国の半導体製造装置メーカーがイオン注入装置の国産化を急いでいる。国産化率は1割に満たないが、中国最大手の北方華創科技集団(NAURA)を筆頭に複数社が量産化に動く。中国もファンドを通じてバックアップする。米国の輸出規制が強化される中、技術的ハードルの高い装置の国産化は可能なのか。
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